至纯科技获得实用新型专利授权:“一种易于晶圆定位的传送机构”
2025-08-23 【 字体:大 中 小 】

本站消息,根据天眼查APP数据显示至纯科技(603690)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种易于晶圆定位的传送机构”,专利申请号为CN202420669576.6,授权日为2025年5月6日。
专利摘要:本实用新型公开了一种易于晶圆定位的传送机构,属于晶圆传输技术领域;包括支撑框架;至少一个晶圆叉片,固定在支撑框架上,晶圆叉片上设有,第一限位部,远离支撑框架设置;第二限位部,远离支撑框架设置,第一限位部与第二限位部在晶圆叉片上形成晶圆片定位侧;拖齿部,固定在支撑框架上,拖齿部包括,拖齿底板,位于支撑框架内;晶圆托齿,位于拖齿底板的两端,朝向晶圆片定位侧设置。上述技术方案的有益效果是:由于采用以上技术方案,避免传输过程中出现晶圆错位的问题,防止晶片破损,提高了生产效率。
今年以来至纯科技新获得专利授权12个,较去年同期增加了33.33%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.67亿元,同比增19.17%。
数据来源:天眼查APP
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