芯联集成获得发明专利授权:“键合装置、键合系统及键合方法”
2024-09-24 【 字体:大 中 小 】

证券之星消息,根据企查查数据显示芯联集成(688469)新获得一项发明专利授权,专利名为“键合装置、键合系统及键合方法”,专利申请号为CN202410404953.8,授权日为2024年7月12日。
专利摘要:本发明涉及半导体制造技术领域,提供了一种键合装置、键合系统及键合方法,其中键合装置包括:相对设置的第一键合单元和第二键合单元以及第一真空单元;所述第一键合单元包括第一键合腔室和第一键合组件,所述第一键合组件设置于所述第一键合腔室内;所述第二键合单元包括第二键合腔室和第二键合组件,所述第二键合组件设置于所述第二键合腔室内,所述第一真空单元与所述工艺腔室连通用于抽真空。如此配置,键合装置同时具备键合以及固定晶圆的作用,不需要第三方夹持结构的参与,因此,可在晶圆全部区域施加完整的压力,保证晶圆的结合力的均匀分布,提高晶圆的键合效果。
今年以来芯联集成新获得专利授权50个,较去年同期增加了47.06%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了15.29亿元,同比增82.25%。
数据来源:企查查
由证券之星根据公开信息整理,由算法生成(网信算备310104345710301240019号),与本站立场无关,如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理,不对您构成任何投资建议,投资有风险,请谨慎决策。
猜你喜欢
辉煌科技:公司将严格按照相关要求履行信披义务
7871
故城县股票配资:助您投资之路更顺畅
8390
【江苏鑫泉】pps滤袋和PTFE滤袋哪个好
7033
配资保证金:撬动财富的杠杆,亦是风险的双刃剑
4544
2025年5月5日全国主要批发市场茄子价格行情
6175
预计引进企业百家以上 广州江高万洋科技城正式开工
5341
4299元!PICO 4 Ultra正式发布:苹果Vision Pro最佳平替
4071
股票资金放大:撬动财富的杠杆,风险与机遇并存
5062
吴震:王船山的理气论
3493
金现代(300830SZ):未中标过医院DRGDIP项目
6579
利好来了!新能源,重大突破!
离岸人民币对美元升破720关口,为去年11月以来首次
ATFX金属:黄金或再冲击历史最高点2789美元
东方通(300379)涉嫌信披违规被证监会立案,投资者索赔启动
央行等四部门,重磅发布!
振华重工获得实用新型专利授权:“一种岸桥门框结构及岸边集装箱起重机”
疯涨7倍!“马云概念股”继续狂飙!兄弟公司冲A无音信
长沙银行一季度业绩增速放缓,“负重前行”持续推进“村改支”
又见券商更名 国联民生承销保荐正式登场!
如涵控股宣布收到初步非约束性私有化要约:收购价每ADS 34美元
